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气相沉积法(关于气相沉积法介绍)

来源:纵横信息网    2022-12-24 15:37:54


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大家好,小纵来为大家讲解以上的问题。气相沉积法,关于气相沉积法介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看!

1、 化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

2、从理论上来说,它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上。

3、沉积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的。

关于气相沉积法到此分享完毕,希望能帮助到您。

关键词: 金属材料 化学反应 大家讲解

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